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金屬薄膜方阻測(cè)試儀

金屬薄膜方阻測(cè)試儀:金屬薄膜方阻,方塊電阻又稱膜電阻,是用于間接表征薄膜膜層、玻璃鍍膜膜層等樣品上的真空鍍膜的熱紅外性能的測(cè)量值,該數(shù)值大小可直接換算為熱紅外輻射率。方塊電阻的大小與樣品尺寸無(wú)關(guān),其單位為Siements/sq,后增加歐姆/sq表征方式,該單位直接翻譯為方塊電阻或者面電阻,用于膜層測(cè)量又稱為膜層電阻。

  • 產(chǎn)品型號(hào):
  • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
  • 更新時(shí)間:2025-01-16
  • 訪  問(wèn)  量:448
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產(chǎn)品詳情

金屬薄膜方阻,方塊電阻又稱膜電阻,是用于間接表征薄膜膜層、玻璃鍍膜膜層等樣品上的真空鍍膜的熱紅外性能的測(cè)量值,該數(shù)值大小可直接換算為熱紅外輻射率。方塊電阻的大小與樣品尺寸無(wú)關(guān),其單位為Siements/sq,后增加歐姆/sq表征方式,該單位直接翻譯為方塊電阻或者面電阻,用于膜層測(cè)量又稱為膜層電阻。蒸發(fā)鋁膜、導(dǎo)電漆膜、印制電路板銅箔膜等薄膜狀導(dǎo)電材料,衡量它們厚度的最好方法就是測(cè)試它們的方阻。什么是方阻呢?方阻就是方塊電阻,指一個(gè)正方形的薄膜導(dǎo)電材料邊到邊“之"間的電阻,如圖一所示,即B邊到C邊的電阻值。方塊電阻又稱膜電阻,是用于間接表征薄膜膜層、玻璃鍍膜膜層等樣品上的真空鍍膜的熱紅外性能的測(cè)量值,該數(shù)值大小可直接換算為熱紅外輻射率。方塊電阻的大小與樣品尺寸無(wú)關(guān),其單位為Siements/sq,后增加歐姆/sq表征方式,該單位直接翻譯為方塊電阻或者面電阻,用于膜層測(cè)量又稱為膜層電阻。

產(chǎn)品描述:

金屬薄膜方阻測(cè)試儀主要利用結(jié)光電壓技術(shù)非接觸測(cè)試具有P/N或N/P結(jié)構(gòu)的樣品的方阻(發(fā)射極薄層方阻)。

特點(diǎn):

非接觸,非損傷測(cè)試,測(cè)試速度快,重復(fù)性佳,可直接測(cè)試產(chǎn)品片。

金屬薄膜方阻測(cè)試儀技術(shù)參數(shù):

探頭量程10-500Ω/sq
探頭性能動(dòng)態(tài)重復(fù)性靜態(tài)重復(fù)性示值誤差
測(cè)試條件:采樣率50SPS(20ms),20個(gè)點(diǎn)/每次
10-50Ω/sq<2%<0.5%≤±3%
50-200Ω/sq<1%<0.2%≤±3%
200-500Ω/sq<0.6%<0.15%≤±3%
外形尺寸探頭:60mm×30mm×83mm(L×W×H)
控制盒:173×130×55mm
信號(hào)采集采樣率:**500SPS
數(shù)據(jù)接口:RS232 RS485 CAN TCP/IP
傳輸協(xié)議:ModbusRtu/ModbusTcp、用戶自定義SOCKET協(xié)議等

JPV測(cè)試數(shù)據(jù)

實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)—相關(guān)性

金屬薄膜方阻測(cè)試儀

實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)—重復(fù)性和準(zhǔn)確性


樣片1

樣片2

樣片3

樣片4


四探針

SemiLab

九域

四探針

SemiLab

九域

四探針

SemiLab

九域

四探針

SemiLab

九域

1

98.5

99.51

98.11

106.1

105.77

105.65

131.2

131.82

131.84

146.6

148.52

147.32

2

98.6

99.84

98.1

105.4

105.96

105.63

130.1

131.55

131.99

148.2

148.81

147.23

3

98.9

99.68

97.99

106.8

105.98

105.78

132.5

131.57

131.94

148

148.85

147.18

4

99

98.78

97.98

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148.6

148.21

147.15

9

97.6

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97.82

105.5

105.76

105.76

131.4

132.05

131.76

147.4

148.51

147.28

10

98.6

99.13

97.92

106.2

106.14

105.82

130.8

132.29

131.73

148.1

148.15

147.09

Ave

98.43

99.03

97.98

106.03

105.82

105.76

131.58

131.91

131.84

147.4

148.51

147.23

Rsd

0.43%

0.48%

0.09%

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0.39%

0.07%

0.63%

0.27%

0.08%

0.69%

0.20%

0.06%

%


0.61%

-0.46%


-0.20%

-0.25%


0.25%

0.20%


0.82%

-0.15%

說(shuō)明:

1、四探針重復(fù)性較差,探針頭容易出問(wèn)題導(dǎo)致測(cè)試偏差很大

2、Semilab重復(fù)性和九域重復(fù)性偏差不大

3、準(zhǔn)確度偏差都保證在一定的范圍之內(nèi)

 
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