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全自動(dòng)非接觸電阻率方阻測(cè)試儀

渦流法?電阻率方阻是一種利用電磁感應(yīng)原理進(jìn)行檢測(cè)的方法。當(dāng)載有交變電流的試驗(yàn)線(xiàn)圈靠近導(dǎo)體工件時(shí),會(huì)產(chǎn)生交變磁場(chǎng),進(jìn)而在工件中感生出密閉的環(huán)狀電流,即渦流。渦流的大小、相位及流動(dòng)形式受到工件性質(zhì)(如電導(dǎo)率、磁導(dǎo)率、形狀、尺寸)及有無(wú)缺陷的影響,通過(guò)儀器測(cè)量這些變化可以判斷工件的性質(zhì)和狀態(tài)。

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  • 更新時(shí)間:2025-06-26
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全自動(dòng)渦流法?電阻率F方阻方阻是一種利用電磁感應(yīng)原理進(jìn)行檢測(cè)的方法。當(dāng)載有交變電流的試驗(yàn)線(xiàn)圈靠近導(dǎo)體工件時(shí),會(huì)產(chǎn)生交變磁場(chǎng),進(jìn)而在工件中感生出密閉的環(huán)狀電流,即渦流。渦流的大小、相位及流動(dòng)形式受到工件性質(zhì)(如電導(dǎo)率、磁導(dǎo)率、形狀、尺寸)及有無(wú)缺陷的影響,通過(guò)儀器測(cè)量這些變化可以判斷工件的性質(zhì)和狀態(tài)。??EFEM(Front End Modules)是半導(dǎo)體設(shè)備前端模塊的簡(jiǎn)稱(chēng),是連接物料搬運(yùn)系統(tǒng)和?硅片處理系統(tǒng)的橋梁。? EFEM的主要功能是在高潔凈環(huán)境下傳輸晶圓,確保晶圓能夠順利傳輸?shù)焦に嚭蜋z測(cè)模塊

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